更新時間：2022-11-15
ALICAT 氣體質量流量計-低壓損型20W系列，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。20W系列具有超低壓損，滿量程壓損最di可達480Pa。
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ALICAT 氣體質量流量計-低壓損型20W系列
應用及案例
● 低溫容器檢測 ● 大學/研究所
● 泄漏檢測 ● 環(huán)境監(jiān)測
● 汽車制造 ● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 數(shù)字化產品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%
● 可測范圍廣，0.01~100%滿量程
● 滿量程超低壓損為480Pa
● 響應時間快，優(yōu)于10 ms
● 內置98種氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考背面
一臺設備內置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可測比 0.01%～100%滿量程
最大顯示流量 128%滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± （0.8%讀數(shù) + 0.2%滿量程） 精度升級部分見左下角
± （0.4%讀數(shù) + 0.2%滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外額外增加±0.5%讀數(shù)誤差
重 復 性 ±（0.2%讀數(shù)+0.02%滿量程）
質量流量溫度零點和滿量程漂移 0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質量流量壓力零點和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm
（從校準壓力開始）
響應時間 127 ms（可調）
預熱時間 < 1 s
默認標況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
最大工作壓力 0.3 MPa表壓，進出口最大允許瞬時壓差70 Kpa
操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；
其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ±0.75%讀數(shù)（＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、
Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸出信號 0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4-20mA
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 9-24 VDC（如選4-20 mA或0-10VDC輸出，須為12-24VDC）
供電電流 40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）
電氣接口 DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 302、303不銹鋼、Viton、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、
玻璃增強聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、金
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）
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