更新時(shí)間:2022-11-15
ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型20S系列,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。可精確、快速測(cè)量腐蝕性氣體(如:NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。
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ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型20S系列
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所
● 泄漏檢測(cè)
● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半 導(dǎo) 體
● 汽車制造
● 計(jì)量校準(zhǔn)
● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量
ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型20S系列
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 可選高精度:優(yōu)于0.5%
● 量程可測(cè)比1%-100%
● 響應(yīng)時(shí)間快,僅需10 ms
● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
介質(zhì)要求 潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類 內(nèi)置了130種氣體,請(qǐng)參考背面
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-5000 SLPM
最大顯示流量 128 %滿量程
顯 示 屏 帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±(0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)
高 精 度 ±(0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程),選配
僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復(fù) 性 ± 0.2 %滿量程
質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程溫度漂移 0.02%滿量程/℃(從25℃開始)
質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程壓力漂移 ±(0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程)
(從校準(zhǔn)壓力開始)
響應(yīng)時(shí)間 10 ms
預(yù)熱時(shí)間 <1 s
默認(rèn)標(biāo)況(STP) 25 ℃ & 1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))
工作溫度 -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項(xiàng))
溫度精度 ±0.75℃
工作濕度 0 ~100 %,無(wú)冷凝
最大工作壓力 1 MPa 表壓
最di操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓80 KPaA以上使用;
其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ±0.5%滿量程
極限耐壓 1.1MPa 表壓,進(jìn)出口最大瞬時(shí)壓差可為0.5 MPa
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率;
模擬信號(hào):1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、
Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差
供電電壓 9 - 24VDC (如選4 - 20 mA輸出,須為12 - 24 VDC )
供電電流 40 mA (+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC)
電氣接口 DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率(外漏) 選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 316L不銹鋼、FFKM(標(biāo)準(zhǔn))
可根據(jù)特殊氣體選用FKM、EPDM、Buna
過(guò)程連接 詳情參考?jí)簱p表
安裝方式 對(duì)位置無(wú)要求
防護(hù)等級(jí) IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA(可選)