更新時間:2024-03-25
UNIK5000P超純級壓力傳感器在半導體器件的生產(chǎn)過程中,壓力這一物理量的測量、校準及控制是許多制程的關(guān)鍵組成部分。德魯克是壓力測量行業(yè)的品牌,經(jīng)過逾半個世紀的積累,我們在包括半導體行業(yè)在內(nèi)的諸多行業(yè)中積累了豐富應(yīng)用經(jīng)驗。德魯克面向半導體等行業(yè)的超純介質(zhì)壓力測量應(yīng)用推出了超純壓力傳感器,該系列的核心設(shè)計源于經(jīng)典的UNIK5000系列。
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UNIK5000P
超純級壓力傳感器
在半導體器件的生產(chǎn)過程中,壓力這一物理量的測量、校準及控制是許多制程的關(guān)鍵組成部分。德魯克是壓力測量行業(yè)的品牌,經(jīng)過逾半個世紀的積累,我們在包括半導體行業(yè)在內(nèi)的諸多行業(yè)中積累了豐富應(yīng)用經(jīng)驗。
德魯克面向半導體等行業(yè)的超純介質(zhì)壓力測量應(yīng)用推出了超純壓力傳感器,該系列的核心設(shè)計源于經(jīng)典的UNIK5000系列。數(shù)十年來,該系列壓力傳感器在各類對性能及可靠性要求嚴苛的應(yīng)用,例如航空航天、發(fā)動機測試及其他工業(yè)壓力測試等領(lǐng)域中獲得了廣泛認可。
同時,UNIK5000P系列超純壓力傳感器采用專用生產(chǎn)及包裝制程,以確保所需的超純、無油特性得以滿足。基于大量應(yīng)用的反饋結(jié)果,該系列擁有優(yōu)良的可靠性和穩(wěn)定性。融合了高精度、高穩(wěn)定性以及低成本特性的UNIK系列超純壓力傳感器業(yè)已得到諸多用戶的認可。
應(yīng)用行業(yè)
·半導體、太陽能、液晶面板制造設(shè)備等·超純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)壓力測量
應(yīng)用介質(zhì)
·超純及有毒等特種介質(zhì)
特點
量程最大可5000psi
綜合測量精度可達士0.2%FS BSL
補償溫度范圍可達-40 ~+125°C
硅壓阻敏感元件,年穩(wěn)定性士0.05%FS,具備高可靠性
快速響應(yīng)時間,上電時間小于30ms
具備完整的半導體工藝過程壓力接口選項
接液部分采用EP電解拋光,Ra<0.13μm(RA5),符合SEMI F19
適用于與316L不銹鋼和哈氏合金C276兼容的超純流體,接液部分材質(zhì)符合SEMIF20,VIMNAR材質(zhì)可選
接液部分脫脂清洗,產(chǎn)品采用雙層真空包裝
·危險區(qū)域認證可選