半導(dǎo)體氣體分析儀OPTI-Sense系列傳感器建立在非色散紅外測(cè)量法基礎(chǔ)上,能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體應(yīng)用中產(chǎn)生的特種氣體的紅外光譜吸收。該儀器設(shè)計(jì)緊湊,且無(wú)移動(dòng)部件,適合在半導(dǎo)體工業(yè)流程中用于連續(xù)的...
內(nèi)置的診斷系統(tǒng)包含在軟件當(dāng)中。全部OPTI-Sense系列傳感器都配有模擬和數(shù)字交互,使得它們可以簡(jiǎn)單的整合進(jìn)任何工業(yè)流程。
半導(dǎo)體氣體分析儀支持的氣體
SiF4
CF4
SiF3
SF6
CO
NF3
CO2
WF6
和其他氣體
半導(dǎo)體氣體分析儀規(guī)格參數(shù)測(cè)量原理 :非色散紫外吸收法
應(yīng)用 :現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量
光源 :脈沖紅外發(fā)射器
材料 :抗腐蝕的光學(xué)元件,
不銹鋼接觸液體的部件
尺寸 (高x寬x長(zhǎng)) :5.00" x 8.75" x 3.25" (包含光源和探測(cè)器)
重量 :< 5 lbs
模擬輸出 :出廠(chǎng)設(shè)置為 0 – 1, 5, 或 10 volt
數(shù)字交互 :RS-232 C和可選的GUI交互
響應(yīng)時(shí)間 :< 10秒
電源 :15 VDC – 小于 10 瓦特 (可選AC 電源)
采樣端口 :KF16 – 304 SS (可選其他選項(xiàng))
校零 :支持遠(yuǎn)程校零
漏氣測(cè)試 :真空密封測(cè)試
軟件 :嵌入 (標(biāo)準(zhǔn)) - Labview GUI 交互(可選)
認(rèn)證 :CE
保修 :1 年
半導(dǎo)體氣體分析儀特征
NDIR 非色散紅外測(cè)量法
適用于任何吸收紅外光的氣體
響應(yīng)時(shí)間快
高敏感度
氣體特異性
無(wú)耗材
無(wú)移動(dòng)部件
GUI LabView軟件(可選)