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INFICON干式氦氣檢漏儀

更新時(shí)間:2022-04-16

簡(jiǎn)要描述:

上海睿丹自動(dòng)化儀表有限公司代理的定性和靈敏度的新疆界,檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css
The INFICON UL1000 Fab 移動(dòng)式氦氣檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿(mǎn)足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)中的簡(jiǎn)單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性,UL1000 Fab 在所有測(cè)量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。
通過(guò)結(jié)合較高氦氣吸氣能力和高進(jìn)氣口壓力的最佳真空結(jié)構(gòu)

型號(hào):UL1000 Fab點(diǎn)擊量:2464

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上海睿丹自動(dòng)化儀表有限公司代理的定性和靈敏度的新疆界,檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css 

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通過(guò)結(jié)合較高氦氣吸氣能力和高進(jìn)氣口壓力的最佳真空結(jié)構(gòu)

UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s。軟件 I-CAL(智能泄漏率計(jì)算法)讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時(shí)較長(zhǎng)反應(yīng)時(shí)間的煩惱,因?yàn)?UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

使用額外的 TC1000 測(cè)試盒配件,UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡(jiǎn)單、快速、精確的測(cè)試,如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管(根據(jù) MIL-STD 843,方法 1014)。

INFICON干式氦氣檢漏儀詳細(xì)介紹

  • 15 級(jí)的寬測(cè)量范圍

  • 較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間 

  • 移動(dòng)式全金屬外殼,增加了便利性,具有絕對(duì)可操作性

  • I-CAL 確保了在所有測(cè)量范圍中提供最快的泄漏響應(yīng)時(shí)間 

  • 抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正,可提供快速、可靠的測(cè)試結(jié)果

  • 含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì),提供較高氦氣吸氣能力和高壓縮比

  • 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶(hù)界面允許簡(jiǎn)單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互

  • 自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染

  • 自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保清理并隨時(shí)可進(jìn)行測(cè)試 

  • 通過(guò)電子郵件進(jìn)軟件更新

  • 含兩個(gè)燈絲離子源(3 年質(zhì)保)的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長(zhǎng)的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本

  • 內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測(cè)試漏孔確保了精確的測(cè)試結(jié)果


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