更新時間:2021-07-18
密析爾VCR連接露點儀密析爾 Pura 高純氣露點變送器/在線露點儀是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗,結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。Pura高純氣體露點變送器擁有堅固而獨立的傳感器,專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。
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密析爾VCR連接露點儀密析爾 Pura 高純氣露點變送器/在線露點儀
在很多超純氣應用,諸如半導體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案,用來在線測量露點值,下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗,結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。
Pura高純氣體露點變送器密析爾VCR連接露點儀這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器,專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。
Pura使用和安裝簡單,可選兩線制、三線制和危險區(qū)域的型號,是一款*可自定義的產(chǎn)品,可以滿足各種特殊需求。
測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
測量穩(wěn)定,重復性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡便
VCR 過程接口
設計緊湊小巧
顯示/報警單元可選
高純氣體微量露點變送器
在許多高純氣體的應用中,如半導體行業(yè),氣體的殘留水分對于工藝操作的影響是至關重要。
根據(jù)以往的經(jīng)驗,微量水分測量一直是一個難題,這需要使用復雜或昂貴的分析儀測量?,F(xiàn)在,密析爾推出了一款簡單、經(jīng)濟的產(chǎn)品,可以在線測量露點達-120°C (小于1ppb)。
Pura露點變送器的優(yōu)勢在于密析爾阻抗傳感器生產(chǎn)和校準的經(jīng)驗和專長。工業(yè)標準材料和制造工藝結(jié)合的低成本變送器,適用于大規(guī)模集成半導體制造廠或高純氣體管線中。
使用簡單
這種獨立的變送器設計成可無縫接入純氣的過程應用中,并可提供可靠的測量結(jié)果。
Pura的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成,內(nèi)部采用0.25Ra μm,以達到小的吸濕性,潔凈度達到清潔室標準。
該變送器交付完整的校準和操作,并提供4-20mA的校準輸出,能夠連接到密析爾的顯示模塊或中央控制系統(tǒng)。
該產(chǎn)品的設計具有小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。這確保了過程應用中kuai的響應速度,也保證了濕度測量時的kuai響應速度。傳感器密封墊圈可以在小壓力10-9torr內(nèi)工作,同時整個系統(tǒng)可承受的da壓力為240 Barg (3480 psi)。
安裝和操作簡便
Pura安裝簡單。?"外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm,符合標準。整個產(chǎn)品的高度僅為150mm,重量小于500g。Pura是一個兩線或三線制的變送器,提供da的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。
可選的顯示
假如應用中需要顯示露點值或濕度值,Pura可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接,也可以作為Pura的電源。
服務與校準
密析爾為想要少停機時間和設備可追溯性的用戶提供以下兩種服務:
傳感器替換 –用戶可以簽訂一個有保障的合同,可以更換傳感器。當傳感器出現(xiàn)問題時,可以把更換下來的傳感器返回密析爾檢測,從而實現(xiàn)零停機時間。
校準 – 用戶將傳感器返回密析爾,密析爾會對返回的傳感器進行檢查和校準。這樣為過程中的傳感器就可以實現(xiàn)可追溯性。
陶瓷阻抗傳感器密析爾VCR連接露點儀Pura采用阻抗技術(shù),是基于水分子的導電性。密析爾的陶瓷濕度傳感器采用具有的厚薄膜技術(shù)。
在半導體化的陶瓷基底上,均勻的敷涂了金屬導電層。導電層之間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了水分子進入感濕層的水分子的數(shù)量,即對應于導電層之間的阻抗值。露點值和水氣分壓有一一對應關系。經(jīng)過校驗,阻抗值和露點值的對應關系建立起來,被儲存在變送器的芯片中。
傳感器采用半導體極的陶瓷材料作為基底,給予傳感器*的結(jié)構(gòu)強度和均勻特性。使密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器所*的穩(wěn)定性。
技術(shù)指標 | ||
傳感器傳感器類型密析爾陶瓷濕度傳感器量程-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)精度±1°C -40 ~ -60°C;±2°C -61 ~ -100°C;±4°C -101 ~ -120°C (估算值)分辨率0.1°C -40 ~ -79.9°C;1°C -80 ~ -100°C;1 ~ 3°C -100 ~ -120°C壓力低 10-9 torr; 大 24 MPa氣體流量1 ~ 5 Nl/min電氣電源通常 24 V DC, 10 V ~ 28 V , 電流 25 mA輸出4-20 mA 輸出, 對應范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)輸出出錯狀態(tài)標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限機械性能傳感器套筒不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 氣路連接端口Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口安裝配置Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mmPura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中尺寸Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mmPura Sensor 型: 132 x 35mm重量Premium 或 OEM 型: 450gPura Sensor 型: 180g包裝Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝所有選配件: 獨立包裝運輸Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作 |